طبق رویه بین المللی، سطح تصفیه بدون گرد و غبار عمدتاً بر اساس تعداد ذرات موجود در هوا که قطر آنها بزرگتر از استاندارد طبقه بندی در هر متر مکعب است مشخص می شود.یعنی به اصطلاح بدون گرد و غبار 100% بدون کمی گرد و غبار نیست بلکه در واحدهای بسیار کمی کنترل می شود.البته ذراتی که استاندارد گرد و غبار را در این استاندارد رعایت می کنند در مقایسه با گرد و غبار معمولی ما بسیار ناچیز هستند، اما برای سازه های نوری حتی کمی گرد و غبار تاثیر منفی بسیار زیادی خواهد داشت، بنابراین در تولید محصولات ساختار نوری، گرد و غبار رایگان یک نیاز اجتناب ناپذیر است.
تعداد ذرات با اندازه ذرات کمتر از 0.5 میکرون به کمتر از 3500 در متر مکعب کنترل می شود که به سطح استاندارد بین المللی بدون غبار A رسیده است.استانداردهای بدون گرد و غبار که در حال حاضر در تولید و پردازش در سطح تراشه مورد استفاده قرار می گیرند، نسبت به کلاس A نیاز بیشتری به گرد و غبار دارند و چنین استانداردهای بالایی عمدتاً در تولید برخی از تراشه های سطح بالاتر استفاده می شوند.تعداد ریزگردها به شدت در 1000 در هر متر مکعب کنترل می شود که معمولاً به عنوان سطح 1K در صنعت شناخته می شود.
1. محفظه، مواد سقف، ارتفاع سقف.
2. مواد کف.
3. آیا آن درجه حرارت و رطوبت ثابت است.
4. آیا هوای خروجی مورد نیاز است یا خیر.
5. تعداد کل افراد در کارگاه.
6. ارزش حرارتی تجهیزات فرآیند کارگاه.
و به همین ترتیب یک سری از پارامترها.
استانداردهای اتاق تمیز کلاس 100000 عبارتند از:
حداکثر مقدار مجاز گرد و غبار (در هر متر مکعب)؛
تعداد ذرات بزرگتر یا مساوی 0.5 میکرون نباید از 3500000 تجاوز کند و تعداد ذرات بزرگتر یا مساوی 5 میکرون نباید از 20000 تجاوز کند.
حداکثر تعداد مجاز میکروارگانیسم ها؛
تعداد باکتری ها نباید از 500 در متر مکعب تجاوز کند.
تعداد باکتری های ته نشین شده نباید بیش از 10 در هر پتری دیش باشد.
اختلاف فشار: اختلاف فشار بین اتاق های تمیز با سطح تمیزی یکسان باید ثابت باشد.اختلاف فشار بین اتاق های تمیز مجاور با سطوح تمیزی مختلف باید ≥5Pa و اختلاف فشار بین اتاق های تمیز و اتاق های غیر تمیز باید ≥10Pa باشد.
هنگامی که کارگاه بدون گرد و غبار 100000 نیاز خاصی به دما و رطوبت ندارد، پوشیدن لباس کار تمیز بدون احساس راحتی مناسب است.درجه حرارت به طور کلی در 20 ~ 22 ℃ در زمستان کنترل می شود.24 ~ 26 ℃ در تابستان؛نوسان ± 2 ℃.رطوبت اتاق تمیز در زمستان 30-50 درصد و رطوبت اتاق تمیز در تابستان 50-70 درصد کنترل می شود.
کنترل نویز
1. در طول تست دینامیک، سطح نویز در اتاق تمیز 10000 کلاس نباید از 70 دسی بل تجاوز کند.
2. در طول آزمایش استاتیک، سطح نویز اتاق تمیز آشفته 10000 سطحی نباید بیشتر از 60 دسی بل باشد.
سازمان جریان هوا
روش اصلی تامین هوا مورد استفاده در کارگاه 100000 سطح بدون گرد و غبار.
1. تامین هوای سقف منفذ جزئی;
2. فیلتر هوا با راندمان بالا با صفحه پخش کننده برای تامین هوای سقف.
3. سه نوع تامین هوا، از جمله تامین هوا در دیوار سمت بالایی.
1. خروجی هوای برگشتی را در قسمت پایینی دیوار کناری قرار دهید.2. هنگام استفاده از هوای برگشت راهرو، خروجی هوای برگشتی را به طور یکنواخت در راهرو بچینید یا خروجی هوای برگشتی را به طور مرکزی در انتهای راهرو تنظیم کنید.
سرعت خروجی هوا m/s:
1. روزنه 3 تا 5 از صفحه روزنه،
2. خروجی هوای جانبی:
(1) جت های 2 تا 5 را وصل کنید.
(2) برای جت های غیر متصل، هوای برگشتی در قسمت پایینی همان دیوار جانبی 1.5 ~ 2.5 است و هوای برگشتی در قسمت پایینی دیوار جانبی مقابل 1.0 ~ 1.5 است.
سرعت هوای برگشتی (m/s):
1. خروجی هوای برگشتی اتاق تمیز بیش از 2 عدد نباشد،
2. خروجی هوای برگشتی در راهرو بیشتر از 4 نباشد.
1. هدف
رویه های عملیاتی استاندارد را برای پرسنل ورودی و خروجی از اتاق تمیز 100000 سطحی ایجاد کنید تا اطمینان حاصل شود که اتاق تمیز توسط پرسنل آلوده نمی شود.
2. منطقه
ورود و خروج پرسنل 100000 سطحی کارگاه بدون گرد و غبار شامل اپراتورهای تولید، پرسنل تعمیر و نگهداری و پرسنل مدیریتی.
3 مسئولیت
3.1 کلیه پرسنلی که وارد کارگاه 100000 سطح عاری از گرد و غبار می شوند و از آن خارج می شوند مسئول این روش عملیاتی خواهند بود.
3.2 سرپرست تیم کارگاه عاری از گرد و غبار و پرسنل کنترل کیفیت در محل مسئولیت نظارت و بازرسی را بر عهده دارند.
4 محتوا
4.1 وارد درب اتاق تمیز شوید و وسایل بارانی و وسایل خود را در موقعیت مشخص شده قرار دهید.
4.2 دمپایی را عوض کنید.در محل تعویض کفش، روی صندلی کفش بنشینید، کفش های خانگی خود را درآورید، آن ها را در کابینت کفش قرار دهید، 180 درجه بچرخانید، دمپایی های خود را در لایه بالایی کابینت کفش بیرون بیاورید و بپوشید.
4.3 تعویض لباس کار.وارد دفتر کار عمومی شوید، لباسهای راحتی کارمندان را درآورید و لباسهای کار را عوض کنید.
4.4 دست های خود را بشویید.برای شستن دست ها روش شستشوی دست را دنبال کنید.
4.5 تعویض کفش کاروارد در اتاق کفش شوید، روی نیمکت بنشینید، رو به درب قرار بگیرید، دمپایی ها را درآورید، دمپایی ها را در لایه پایینی کابینت کفش قرار دهید، کفش های کار خود را از لایه رویی کابینت کفش بیرون بیاورید، بنشینید و 180 درجه با پشت به در بچرخانید و آنها را بپوشید.
4.6 دست ها را بشویید و خشک کنید.
4.6.1 دست های خود را با آب تا 10 سانتی متر بالای مچ در سینک خیس کنید، با مواد شوینده بشویید، پوست دست ها و مچ های خود را به اندازه 10 سانتی متر پر از کف کنید و حدود 15 ثانیه بمالید.
4.6.2 دستهایتان را با آب بشویید، برنج خیسشده را روی دستهایتان بشویید، دستهایتان را بالا و پایین کنید و آنها را بمالید تا احساس چربی نکنید.
4.6.3 به صورت چشمی بررسی کنید که دست ها تمیز باشند.
4.6.4 کف دست خود را تا 8 تا 10 سانتی متر زیر دست خشک کن دراز کنید و دست خود را خشک کنید تا خشک شود.
4.7 لباس زیر را تمیز کنید.لباس های کار را درآورده و در کمد شخصی قرار دهید.کلاه کار، لباس کار و شلوار کار با شماره شخصی را از قلاب دیواری در رختکن درآورید و بپوشید.آن را به ترتیب از بالا به پایین بپوشید، یعنی: ابتدا کلاه، ماسک، سپس بالا و سپس شلوار بپوشید.توجه داشته باشید که تمام تاپ ها را در جیب های شلوار ببندید، تمام موها را داخل کلاهک فرو کنید و بررسی کنید که کت ها و کلاه ها مرتب هستند یا خیر.
4.8 دست ها را بشویید و ضدعفونی کنید.
4.8.1 دستهای خود را با آب تا 10 سانتیمتر بالای مچ در سینک خیس کنید، با مواد شوینده بشویید، پوست دستها و مچها را به اندازه 10 سانتیمتر پر از کف کنید و حدود 15 ثانیه بمالید.
4.8.2 دستهایتان را با آب بشویید، برنج خیسشده را روی دستهایتان بشویید، دستهایتان را بالا و پایین کنید و آنها را بمالید تا احساس چربی نکنند.
4.8.3 به صورت چشمی بررسی کنید که دست ها تمیز هستند.
4.8.4 ضد عفونی.دست ها را تا 10 سانتی متر بالای مچ در ماده ضدعفونی کننده حاوی کلر به مدت 30 ثانیه خیس کنید.
4.8.5 کف دست خود را تا 8 تا 10 سانتی متر زیر دست خشک کن دراز کنید و دست خود را خشک کنید تا خشک شود.
4.9 از روپوش بپوشید.یک سایت با شماره فردی را از کمد حذف کنید.آنها را از پایین به بالا بپوشید و مراقب باشید که روپوش ها به زمین برخورد نکنند.
4.10 دریافت و ضد عفونی.درب را به داخل اتاق بافر فشار دهید، دستان خود را زیر سمپاش القایی خودکار پر از اتانول 75 درصد قرار دهید، برای ضدعفونی اسپری کنید، دستان خود را تکان دهید و اجازه دهید اتانول خشک شود.
4.11 وارد اتاق تمیز شوید.درب محفظه بافر را باز کرده و وارد قسمت عاری از گرد و غبار شوید.
4.12 هنگامی که پرسنل منطقه تمیز را ترک می کنند، برای ورود به منطقه تمیز روش معکوس را دنبال کنید.توجه داشته باشید که هنگام کشیدن لباس کار، لباس های خود را از پایین به بالا درآورید.
4.13 بازدیدکنندگان از خارج باید مورد تایید کارخانه بوده و با راهنمایی و نظارت پرسنل مدیریت کارگاه، طبق مراحل مقرر وارد کارگاه عاری از گرد و غبار شده و از آن خارج شوند.بازدیدکنندگان خارجی باید قوانین مدیریت کارگاه را به شدت رعایت کنند.در طول دوره تولید اتاق تمیز، بازدیدکنندگان خارجی مجاز به ورود نیستند.
طبق رویه بین المللی، سطح تصفیه بدون گرد و غبار عمدتاً بر اساس تعداد ذرات موجود در هوا که قطر آنها بزرگتر از استاندارد طبقه بندی در هر متر مکعب است مشخص می شود.یعنی به اصطلاح بدون گرد و غبار 100% بدون کمی گرد و غبار نیست بلکه در واحدهای بسیار کمی کنترل می شود.البته ذراتی که استاندارد گرد و غبار را در این استاندارد رعایت می کنند در مقایسه با گرد و غبار معمولی ما بسیار ناچیز هستند، اما برای سازه های نوری حتی کمی گرد و غبار تاثیر منفی بسیار زیادی خواهد داشت، بنابراین در تولید محصولات ساختار نوری، گرد و غبار رایگان یک نیاز اجتناب ناپذیر است.
تعداد ذرات با اندازه ذرات کمتر از 0.5 میکرون به کمتر از 3500 در متر مکعب کنترل می شود که به سطح استاندارد بین المللی بدون غبار A رسیده است.استانداردهای بدون گرد و غبار که در حال حاضر در تولید و پردازش در سطح تراشه مورد استفاده قرار می گیرند، نسبت به کلاس A نیاز بیشتری به گرد و غبار دارند و چنین استانداردهای بالایی عمدتاً در تولید برخی از تراشه های سطح بالاتر استفاده می شوند.تعداد ریزگردها به شدت در 1000 در هر متر مکعب کنترل می شود که معمولاً به عنوان سطح 1K در صنعت شناخته می شود.
1. محفظه، مواد سقف، ارتفاع سقف.
2. مواد کف.
3. آیا آن درجه حرارت و رطوبت ثابت است.
4. آیا هوای خروجی مورد نیاز است یا خیر.
5. تعداد کل افراد در کارگاه.
6. ارزش حرارتی تجهیزات فرآیند کارگاه.
و به همین ترتیب یک سری از پارامترها.
استانداردهای اتاق تمیز کلاس 100000 عبارتند از:
حداکثر مقدار مجاز گرد و غبار (در هر متر مکعب)؛
تعداد ذرات بزرگتر یا مساوی 0.5 میکرون نباید از 3500000 تجاوز کند و تعداد ذرات بزرگتر یا مساوی 5 میکرون نباید از 20000 تجاوز کند.
حداکثر تعداد مجاز میکروارگانیسم ها؛
تعداد باکتری ها نباید از 500 در متر مکعب تجاوز کند.
تعداد باکتری های ته نشین شده نباید بیش از 10 در هر پتری دیش باشد.
اختلاف فشار: اختلاف فشار بین اتاق های تمیز با سطح تمیزی یکسان باید ثابت باشد.اختلاف فشار بین اتاق های تمیز مجاور با سطوح تمیزی مختلف باید ≥5Pa و اختلاف فشار بین اتاق های تمیز و اتاق های غیر تمیز باید ≥10Pa باشد.
هنگامی که کارگاه بدون گرد و غبار 100000 نیاز خاصی به دما و رطوبت ندارد، پوشیدن لباس کار تمیز بدون احساس راحتی مناسب است.درجه حرارت به طور کلی در 20 ~ 22 ℃ در زمستان کنترل می شود.24 ~ 26 ℃ در تابستان؛نوسان ± 2 ℃.رطوبت اتاق تمیز در زمستان 30-50 درصد و رطوبت اتاق تمیز در تابستان 50-70 درصد کنترل می شود.
کنترل نویز
1. در طول تست دینامیک، سطح نویز در اتاق تمیز 10000 کلاس نباید از 70 دسی بل تجاوز کند.
2. در طول آزمایش استاتیک، سطح نویز اتاق تمیز آشفته 10000 سطحی نباید بیشتر از 60 دسی بل باشد.
سازمان جریان هوا
روش اصلی تامین هوا مورد استفاده در کارگاه 100000 سطح بدون گرد و غبار.
1. تامین هوای سقف منفذ جزئی;
2. فیلتر هوا با راندمان بالا با صفحه پخش کننده برای تامین هوای سقف.
3. سه نوع تامین هوا، از جمله تامین هوا در دیوار سمت بالایی.
1. خروجی هوای برگشتی را در قسمت پایینی دیوار کناری قرار دهید.2. هنگام استفاده از هوای برگشت راهرو، خروجی هوای برگشتی را به طور یکنواخت در راهرو بچینید یا خروجی هوای برگشتی را به طور مرکزی در انتهای راهرو تنظیم کنید.
سرعت خروجی هوا m/s:
1. روزنه 3 تا 5 از صفحه روزنه،
2. خروجی هوای جانبی:
(1) جت های 2 تا 5 را وصل کنید.
(2) برای جت های غیر متصل، هوای برگشتی در قسمت پایینی همان دیوار جانبی 1.5 ~ 2.5 است و هوای برگشتی در قسمت پایینی دیوار جانبی مقابل 1.0 ~ 1.5 است.
سرعت هوای برگشتی (m/s):
1. خروجی هوای برگشتی اتاق تمیز بیش از 2 عدد نباشد،
2. خروجی هوای برگشتی در راهرو بیشتر از 4 نباشد.
1. هدف
رویه های عملیاتی استاندارد را برای پرسنل ورودی و خروجی از اتاق تمیز 100000 سطحی ایجاد کنید تا اطمینان حاصل شود که اتاق تمیز توسط پرسنل آلوده نمی شود.
2. منطقه
ورود و خروج پرسنل 100000 سطحی کارگاه بدون گرد و غبار شامل اپراتورهای تولید، پرسنل تعمیر و نگهداری و پرسنل مدیریتی.
3 مسئولیت
3.1 کلیه پرسنلی که وارد کارگاه 100000 سطح عاری از گرد و غبار می شوند و از آن خارج می شوند مسئول این روش عملیاتی خواهند بود.
3.2 سرپرست تیم کارگاه عاری از گرد و غبار و پرسنل کنترل کیفیت در محل مسئولیت نظارت و بازرسی را بر عهده دارند.
4 محتوا
4.1 وارد درب اتاق تمیز شوید و وسایل بارانی و وسایل خود را در موقعیت مشخص شده قرار دهید.
4.2 دمپایی را عوض کنید.در محل تعویض کفش، روی صندلی کفش بنشینید، کفش های خانگی خود را درآورید، آن ها را در کابینت کفش قرار دهید، 180 درجه بچرخانید، دمپایی های خود را در لایه بالایی کابینت کفش بیرون بیاورید و بپوشید.
4.3 تعویض لباس کار.وارد دفتر کار عمومی شوید، لباسهای راحتی کارمندان را درآورید و لباسهای کار را عوض کنید.
4.4 دست های خود را بشویید.برای شستن دست ها روش شستشوی دست را دنبال کنید.
4.5 تعویض کفش کاروارد در اتاق کفش شوید، روی نیمکت بنشینید، رو به درب قرار بگیرید، دمپایی ها را درآورید، دمپایی ها را در لایه پایینی کابینت کفش قرار دهید، کفش های کار خود را از لایه رویی کابینت کفش بیرون بیاورید، بنشینید و 180 درجه با پشت به در بچرخانید و آنها را بپوشید.
4.6 دست ها را بشویید و خشک کنید.
4.6.1 دست های خود را با آب تا 10 سانتی متر بالای مچ در سینک خیس کنید، با مواد شوینده بشویید، پوست دست ها و مچ های خود را به اندازه 10 سانتی متر پر از کف کنید و حدود 15 ثانیه بمالید.
4.6.2 دستهایتان را با آب بشویید، برنج خیسشده را روی دستهایتان بشویید، دستهایتان را بالا و پایین کنید و آنها را بمالید تا احساس چربی نکنید.
4.6.3 به صورت چشمی بررسی کنید که دست ها تمیز باشند.
4.6.4 کف دست خود را تا 8 تا 10 سانتی متر زیر دست خشک کن دراز کنید و دست خود را خشک کنید تا خشک شود.
4.7 لباس زیر را تمیز کنید.لباس های کار را درآورده و در کمد شخصی قرار دهید.کلاه کار، لباس کار و شلوار کار با شماره شخصی را از قلاب دیواری در رختکن درآورید و بپوشید.آن را به ترتیب از بالا به پایین بپوشید، یعنی: ابتدا کلاه، ماسک، سپس بالا و سپس شلوار بپوشید.توجه داشته باشید که تمام تاپ ها را در جیب های شلوار ببندید، تمام موها را داخل کلاهک فرو کنید و بررسی کنید که کت ها و کلاه ها مرتب هستند یا خیر.
4.8 دست ها را بشویید و ضدعفونی کنید.
4.8.1 دستهای خود را با آب تا 10 سانتیمتر بالای مچ در سینک خیس کنید، با مواد شوینده بشویید، پوست دستها و مچها را به اندازه 10 سانتیمتر پر از کف کنید و حدود 15 ثانیه بمالید.
4.8.2 دستهایتان را با آب بشویید، برنج خیسشده را روی دستهایتان بشویید، دستهایتان را بالا و پایین کنید و آنها را بمالید تا احساس چربی نکنند.
4.8.3 به صورت چشمی بررسی کنید که دست ها تمیز هستند.
4.8.4 ضد عفونی.دست ها را تا 10 سانتی متر بالای مچ در ماده ضدعفونی کننده حاوی کلر به مدت 30 ثانیه خیس کنید.
4.8.5 کف دست خود را تا 8 تا 10 سانتی متر زیر دست خشک کن دراز کنید و دست خود را خشک کنید تا خشک شود.
4.9 از روپوش بپوشید.یک سایت با شماره فردی را از کمد حذف کنید.آنها را از پایین به بالا بپوشید و مراقب باشید که روپوش ها به زمین برخورد نکنند.
4.10 دریافت و ضد عفونی.درب را به داخل اتاق بافر فشار دهید، دستان خود را زیر سمپاش القایی خودکار پر از اتانول 75 درصد قرار دهید، برای ضدعفونی اسپری کنید، دستان خود را تکان دهید و اجازه دهید اتانول خشک شود.
4.11 وارد اتاق تمیز شوید.درب محفظه بافر را باز کرده و وارد قسمت عاری از گرد و غبار شوید.
4.12 هنگامی که پرسنل منطقه تمیز را ترک می کنند، برای ورود به منطقه تمیز روش معکوس را دنبال کنید.توجه داشته باشید که هنگام کشیدن لباس کار، لباس های خود را از پایین به بالا درآورید.
4.13 بازدیدکنندگان از خارج باید مورد تایید کارخانه بوده و با راهنمایی و نظارت پرسنل مدیریت کارگاه، طبق مراحل مقرر وارد کارگاه عاری از گرد و غبار شده و از آن خارج شوند.بازدیدکنندگان خارجی باید قوانین مدیریت کارگاه را به شدت رعایت کنند.در طول دوره تولید اتاق تمیز، بازدیدکنندگان خارجی مجاز به ورود نیستند.